Благодаря использованию систем регулирования температуры на месте использования (Semistat) потребление энергии по сравнению с системами на базе компрессора можно снизить на 90 %. Поскольку устройство занимает очень мало места и его можно установить под полом на месте использования, расход площади чистого помещения минимизируется. Быстрое и точное регулирование температуры профилей температур процесса до ±0,1 K позволяет достигать более высокой однородности «от пластины к пластине».
Технические характеристики (согл. DIN 12876)
Постоянство температурного режима
0.1 ± K
Теплопроизводительность, мин.
3 kW
Объем наполнения, мин.
1 L
Объем наполнения, макс.
1.3 L
Размеры (Ш × Г × В)
116 x 232 x 470 mm
Вес
15 kg
Питание от сети
Connection to PSC