Высокомощные ВЧ-катоды с магнетронным распылением могут быть успешно применены в научно-исследовательских и производственных целях при условии, что в конструкцию будут включены специальные критерии проектирования.
Круговые ВЧ-магнетроны высокой мощности имеют прямое охлаждение и доступны с внешним диаметром 2″-8″.
Поскольку радиочастотная энергия работает на высокой частоте, очень важно, чтобы катод магнетрона распыления был разработан для усиления этой мощности. Высокомощные ВЧ-магнетроны Angstrom Sciences разработаны для равномерной доставки ВЧ-энергии по поверхности мишени, обеспечивая при этом низкую отраженную мощность и ограничение ВЧ-излучения.
Мощные ВЧ-магнетроны доступны в круговых и линейных конфигурациях.
---