Ротационный магнетрон

на заказкруговой

Поворотные магнетроны - это разновидности круговых магнетронов, в которых набор магнитов механически вращается вокруг центральной оси. Этот вариант, первоначально разработанный для применения в полупроводниковой промышленности, позволяет равномерно покрывать неподвижную подложку с минимально возможным диаметром катода. Другие применения этой технологии включают ситуации, когда материал, повторно осажденный на поверхность мишени, создает дефекты в растущей пленке; в поворотном магнетроне вся поверхность мишени очищается магнитным комплектом, вращающимся со скоростью от 20 до 600 об/мин. Angstrom Sciences предлагает ряд роторных магнетронов диаметром от 4″ (100 мм) до 16″ (406 мм), которые имеют регулируемую конфигурацию магнитов, позволяющую оптимизировать процесс и повысить однородность. Наши магнетроны могут быть установлены во внутренней или внешней конфигурации. Вращающийся магнетрон обеспечивает превосходную однородность без перемещения подложки. В сочетании с полнолицевой эрозией это обеспечивает чрезвычайно низкий уровень дефектов, вызванных загрязнением твердыми частицами. Эти магнетроны также могут быть интегрированы в машины с ограниченным пространством, обеспечивая большую гибкость в применении.