Магнетрон плоский

цилиндрический

Компания Angstrom Sciences известна во всем мире благодаря передовым технологиям, которые мы внедряем в области магнетронного распыления. Теперь мы разработали метод модернизации ваших существующих цилиндрических магнетронов с использованием нашей запатентованной конструкции профилированных магнитов, что позволит внедрить преимущества Angstrom Advantage™ в ваш технологический процесс. Экономичное решение Модернизация с использованием цилиндрических магнитов обеспечивает все вышеперечисленные преимущества при затратах, составляющих примерно одну треть от стоимости замены существующего цилиндрического узла. •Магниты, полностью герметично заключенные в корпус из нержавеющей стали > •Высокоэффективный водяной поток •Совместимость со всеми существующими конструкциями мишеней •Беспроблемная интеграция •Регулируемая однородность •Улучшенный цикл обработки обеспечивает более ровные профили эрозии •Улучшенный профиль осаждения приводит к меньшему накоплению отложений на стенках камеры •Более высокая интенсивность поля позволяет достигать типичной скорости осаждения при более низких уровнях мощности