Магнетрон

При диодном напылении не используются магниты и, соответственно, магнитное поле для удержания плазмы. Это означает, что ионы плазмы свободно проходят через вакуумную систему и стирают почти всю площадь поверхности мишени, что повышает коэффициент использования мишени. Однако это также означает, что частицы напыленной пленки могут свободно перемещаться по всей камере, а не непосредственно на подложку. Это может значительно увеличить время процесса, а из-за отсутствия удержания электронов подложка будет нагреваться сильнее. Angstrom Sciences поставляет диоды для всех размеров катодов.