Импульсный магнетрон

круговой

Магнетроны с непрямым охлаждением оснащены промежуточной стенкой, расположенной между контуром охлаждающей воды круглого катода и мишенью для распыления. Эта стенка создает постоянное уплотнение между водой и вакуумом, предотвращая утечки, которые могут возникнуть в случае «прораспыления» мишени. Круглые магнетроны с непрямым охлаждением диаметром 1–4 дюйма (25–100 мм) компании Angstrom Sciences оснащены резьбовым зажимом мишени и анодным экраном, которые адаптируются к мишеням различной толщины. Замена мишени в конструкции с резьбовым зажимом осуществляется быстро и легко, без использования дополнительных инструментов или приспособлений. Кроме того, резьбовой зажим мишени и экран анода образуют компактную головку круглого магнетрона. Это позволяет круглым магнетронам компании Angstrom Sciences помещаться в ограниченные по пространству вакуумные камеры и осуществлять распыление на подложках, площадь поверхности которых превышает аналогичный показатель у традиционных магнетронов. Магстроны с непрямым охлаждением рекомендуются для применений с низкой мощностью и являются идеальным выбором для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ.