Импульсный магнетрон

круговой

Магнетроны с косвенным охлаждением имеют промежуточную стенку между охлаждающей водой круглого катода и напыляемой мишенью. Эта стенка создает постоянное уплотнение между водой и вакуумом, предотвращая утечки, которые могут возникнуть, если мишень "распыляется насквозь" Круглые магнетроны Angstrom Sciences с косвенным охлаждением диаметром 1″-4″ (25-100 мм) оснащены резьбовым зажимом мишени и анодным экраном, которые приспособлены для распыления мишеней различной толщины. Замена мишени на резьбовой конструкции происходит быстро и легко, не требуя дополнительных инструментов или устройств. Кроме того, резьбовой зажим мишени и анодный экран создают компактную круговую магнетронную головку. Это позволяет устанавливать круглые магнетроны Angstrom Sciences в ограниченных вакуумных камерах и распылять подложки большей площади по сравнению с обычными магнетронами. Магнетроны с косвенным охлаждением рекомендуются для работы с малой мощностью и являются идеальным выбором для исследований и разработок. Для получения дополнительной информации о магнетронах с косвенным охлаждением позвоните нам по телефону 412-469-8466 или свяжитесь с нами онлайн.