Импульсный магнетрон

на заказлинейный

В линейных магнетронах компании Angstrom Sciences используются наши полностью герметичные запатентованные профилированные редкоземельные магниты NdFeB, которые распределяют магнитное поле по всей поверхности мишени, повышая коэффициент использования мишени и сводя к минимуму загрязнение частицами с поверхности мишени. Во всех наших катодах для магнетронного распыления также используется турбулентный поток воды, что обеспечивает оптимальный теплообмен и сводит к минимуму неравномерность, вызванную появлением «горячих точек» на поверхности мишени. Эти особенности в сочетании с такими элементами, как встроенные входы для технологического газа, прочные стенки анода и использование передовых материалов, гарантируют непревзойденную производительность и надежность вашего процесса распыления. По мере того как всё больше отраслей промышленности открывают для себя скорость, управляемость и экономическую выгоду магнетронного распыления, компания Angstrom Sciences разрабатывает инструменты для максимального повышения производительности этих более масштабных и быстрых производственных процессов. Решения для крупногабаритных задач Для тех, кому необходимо наносить покрытия на чрезвычайно широкие подложки или достигать чрезвычайно высокой пропускной способности, линейные магнетроны представляют собой идеальное решение для установки в производственную линию. Полная совместимость по мощности Головки с низким импедансом обеспечивают совместимость с радиочастотным (РЧ), постоянным током (DC), среднечастотным постоянным током, импульсным постоянным током, технологией HiPIMS и микроволновой мощностью. Стандартные соединения Для монтажа мы можем использовать стандартные соединения ISO NW, фланцы с металлическим уплотнением Conflat® или изготовленные на заказ фланцы с уплотнением в виде уплотнительного кольца. Все подводящие линии, как правило, поддерживаются под атмосферным давлением, а доступ к ним осуществляется через стандартные компрессионные соединения с уплотнительным кольцом, что облегчает установку в любую вакуумную систему. Проверенная производительность Эти магнетроны обеспечивают непревзойдённую производительность, благодаря которой компания Angstrom Sciences стала эталоном в отрасли.