Ротационный магнетрон

цилиндрический

Компания Angstrom Sciences предлагает самые современные магнетроны практически для любого стандартного процесса распыления. Однако мы понимаем, что каждая область применения имеет свои особенности. Именно поэтому мы разработали уникальный модульный подход, позволяющий адаптировать оборудование в точном соответствии с вашими техническими требованиями. Цилиндрические магнетроны уже давно пользуются доверием в отрасли нанесения покрытий на стекло, позволяя создавать однородные тонкопленочные покрытия при максимальном использовании мишени. Теперь компания Angstrom Sciences создала компактный, легкий и экономичный цилиндрический магнетрон, специально разработанный для обеспечения тех же преимуществ в таких областях применения, как плоскопанельные дисплеи, солнечные элементы и нанесение покрытий на рулонный материал. Индивидуальные конструкции Доступны готовые узлы как для встраиваемого, так и для бокового монтажа с диаметром опорной трубки 3″ (75 мм) или 5″ (125 мм) и длиной до четырех метров; при минимальном расстоянии между источниками доступны многорядные конфигурации для компактных высокопроизводительных производственных систем. Экономичное и полностью совместимое вложение В ONYX-Revolution™ используется универсальная и экономичная конструкция магнитов с индивидуальными настройками, подходящими для любого типа мишени. Кроме того, система разработана с использованием готовых компонентов, что обеспечивает низкую стоимость, долгосрочную надежность и выгодное вложение средств. Запатентованная технология Запатентованная компанией Angstrom Sciences технология профилированных магнитов создает профиль осаждения, который ближе к нормальному между источником и подложкой. Улучшенный профиль осаждения обеспечивает меньшее накопление отложений на стенках камеры. Кроме того, магнитная решетка Angstrom Sciences обеспечивает более высокую интенсивность магнитного поля, что позволяет пользователю осуществлять процесс распыления при меньшей мощности для достижения типичных скоростей осаждения.