Ротационный магнетрон

цилиндрический

Доступны готовые сборки как для установки на место, так и для бокового монтажа с использованием опорных трубок диаметром 3″ (75 мм) или 5″ (125 мм) длиной до четырех метров, а минимальное расстояние между источниками позволяет использовать несколько линейных массивов для компактных высокопроизводительных производственных систем. В ONYX-Revolution™ используется универсальная и экономичная конструкция магнита с индивидуальным подходом к любому типу цели. В конструкции используются готовые компоненты, что обеспечивает низкую стоимость, долгосрочные инвестиции и надежность. Запатентованная технология профилированного магнита Angstrom Sciences создает профиль осаждения, который ближе к нормальному между источником и подложкой. Улучшенный профиль осаждения позволяет уменьшить скопление мусора на стенках камеры. Кроме того, магнитная решетка Angstrom Sciences обеспечивает более высокую напряженность магнитного поля, что позволяет пользователю запускать процесс напыления на более низкой мощности для достижения типичных скоростей осаждения. Цилиндрические магнетроны могут вмещать в три раза больше материала мишени, чем планарные магнетроны с такой же площадью. Система ONYX-Revolution™ компании Angstrom Sciences еще больше оптимизирует вложение материала, обеспечивая использование мишени до 85 %. Кроме того, работа на более низких уровнях мощности приводит к типичной экономии электроэнергии на 20 %.