Импульсный магнетрон HiPIMS

цилиндрическийкруговой

Импульсное магнетронное напыление высокой мощности или HiPIMS - это относительно недавнее достижение в технологии импульсного напыления, использующее импульсы очень высокой энергии и малой длительности для создания плазменного разряда, который ионизирует большой процент напыляемых атомов. Затем ионизированный поток можно направлять для усиленного контроля свойств покрытия. Компания Angstrom Sciences разработала серию катодов для напыления, способных выдерживать экстремальные плотности мощности более 1500 Вт/дюйм2 для непрерывного длительного производства. Наряду с запатентованным турбулентным охлаждением мишени, катоды Angstrom Sciences для импульсного магнетронного распыления с высокой импульсной мощностью имеют дополнительные каналы охлаждения в корпусе анода и монтажные фланцы для поддержания оптимального охлаждения в процессе работы. Другие особенности включают пассивные и активные магнитные массивы, которые поддерживают постоянную напряженность поля на поверхности мишени в течение всего срока службы мишени, что очень важно в процессе HIPIMS как для уменьшения дуги, так и для оптимальной ионизации напыляемого материала. Эти особенности, а также конструкция твердого анода обеспечивают стабильную повторяющуюся производительность в таких требовательных приложениях, как HiPIMS или любых мощных приложениях с длительным временем работы. Магнетроны HiPIMS имеют прямое охлаждение и доступны в круглом, линейном и цилиндрическом исполнении.