Круговой магнетрон

Для приложений, требующих длительного воздействия высоких температур на подложку, высокотемпературные круговые магнетроны Angstrom Sciences оптимизированы с помощью керамических изоляторов и вакуумных уплотнений, которые позволяют катоду сохранять рабочие параметры в условиях сильного нагрева. Доступны высокотемпературные конструкции, работающие при температурах 200, 300 и 450 градусов Цельсия. Высокотемпературные круговые магнетроны рассчитаны на базовое давление в диапазоне 10-9 мТорр и специально спроектированы таким образом, чтобы выдерживать колебания, которые могут возникнуть в процессе термоциклирования, без утечек и отклонений качества пленки.