Импульсный магнетрон

на заказкруговой

Круговые магнетроны компании Angstrom Sciences стали признанным стандартом в индустрии напыления благодаря технологии Angstrom Advantage™ и множеству других конструктивных особенностей, обеспечивающих практически неограниченные возможности конфигурации и производительности процесса. Благодаря компактной конструкции наши круговые магнетроны идеально подходят для любых новых или модернизированных приложений, включая самые сложные кластерные сборки для самых маленьких вакуумных камер. Низкоимпедансные головки обеспечивают совместимость с радиочастотами, постоянным током, среднечастотным постоянным током, импульсным постоянным током, HiPIMS и микроволновым питанием. Мы используем стандартные фитинги ISO NW, а также металлические уплотнительные фланцы Conflat®. Все коммуникации поддерживаются в атмосфере, а доступ к ним осуществляется через стандартные компрессионные фитинги с кольцами круглого сечения, что упрощает установку в любой вакуумной системе. Круглые магнетронные источники доступны с диаметром мишени от 1″ (25 мм) до 16″ (406 мм) и более в стандартных или заказных конфигурациях. Запатентованный резьбовой зажим мишени и анодный экран наших небольших круглых катодов позволяют менять мишени без использования вспомогательных инструментов. Их встроенная регулировка также позволяет устанавливать мишени различной толщины без использования каких-либо распорных приспособлений. Магнетроны ONYX® могут работать при чрезвычайно низком давлении (до 10-4 Торр), а наши конструкции с прямым охлаждением обеспечивают плотность мощности до 250 Вт/дюйм2 (30 Вт/см2) в непрерывном режиме.