Импульсный магнетрон

на заказкруговой

Круговые магнетроны компании Angstrom Sciences стали признанным стандартом в отрасли вакуумного напыления благодаря технологии Angstrom Advantage™ и целому ряду других конструктивных особенностей, которые обеспечивают практически неограниченные возможности в плане конфигурации и производительности процессов. Универсальная компактная конструкция Благодаря компактной конструкции наши круглые магнетроны идеально подходят для любых новых или модернизированных установок, включая самые сложные кластерные сборки для самых маленьких вакуумных камер. Полная совместимость по мощности Головки с низким импедансом обеспечивают совместимость с радиочастотным (РЧ), постоянным током (DC), среднечастотным постоянным током, импульсным постоянным током, технологией HiPIMS и микроволновой мощностью. Стандартные фитинги Мы используем фитинги стандарта ISO NW, а также фланцы с металлическим уплотнением Conflat®. Все подводы находятся под атмосферным давлением, и доступ к ним осуществляется через стандартные компрессионные фитинги с уплотнительными кольцами, что облегчает установку в любую вакуумную систему. Полный диапазон размеров Круглые магнетронные источники доступны с диаметрами мишени от 1″ (25 мм) до 16″ (406 мм) и более, как в стандартных, так и в индивидуальных конфигурациях. Быстрая и простая замена мишени Наш запатентованный резьбовой зажим мишени и анодный экран на наших небольших круглых катодах позволяют менять мишени без использования дополнительных инструментов. Встроенная регулируемость также позволяет устанавливать мишени различной толщины без использования каких-либо распорных устройств. Низкое давление, высокая мощность Магнетроны ONYX® могут работать при чрезвычайно низком давлении (до 10⁻⁴ Торр), а наши конструкции с прямым охлаждением обеспечивают плотность мощности до 250 ватт/дюйм² (30 ватт/см²) в режиме непрерывной работы.