Контроллеры технологических потоков - это высокоскоростные замкнутые контроллеры технологических газов, предназначенные для прецизионного управления в реальном времени процессами вакуумного напыления и плазменной обработки с реактивным напылением. Это комплексные, компактные, гибкие, удобные в использовании и экономичные решения, которые могут быть легко интегрированы как в новые, так и в существующие системы. Контроллеры технологических потоков одинаково хорошо подходят как для производственных, так и для научно-исследовательских инструментов и позволяют добиться очевидного улучшения стабильности, повторяемости и производительности процессов. Доступен широкий спектр аксессуаров, включая датчики, специально разработанные для напыления HIPMS.
Контроль процесса необходим в промышленных плазменных установках для обеспечения надежности и высокого качества процесса. Здесь оптическая эмиссионная спектроскопия (OES) является наиболее предпочтительным методом, поскольку она не влияет на плазму и позволяет отслеживать несколько видов плазмы в режиме реального времени. Наши системы PLASUS EMICON оснащены всеми необходимыми функциями для анализа, оптимизации и контроля плазмы.
PLASUS - ведущий производитель спектроскопических систем мониторинга плазмы. Основанная 20 лет назад, наша основная компетенция заключается в разработке систем управления технологическими процессами "под ключ" для промышленности и научных исследований. Наши системы применяются для мониторинга плазмы, управления технологическими процессами, оптимизации процессов, контроля качества и спектроскопического анализа плазмы.
Воспользуйтесь нашим многолетним опытом и ведущими отраслевыми ноу-хау - мы будем к вашим услугам и дадим исчерпывающие рекомендации для вашего применения!
---