Координатные столы 1 ось Steinmeyer

Ход: 1 mm - 40 mm
Скорость: 1 mm/s - 200 mm/s
Повторяемость: 0,3 µm - 5 µm

... подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально полностью керамические - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 0.005 мкм - 0,1 мкм ...

Ход: 1 mm - 130 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,4 µm - 5 µm

... условиями применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические ...

Ход: 1 mm - 100 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,4 µm - 5 µm

... однонаправленный) ± 1,9 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: → 44 Н / ↑ 120 Н - Макс. Скорость: 10 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные - ...

Ход: 1 mm - 300 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,015 µm - 5 µm

... условиями применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические ...

Ход: 1 mm - 185 mm
Скорость: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Повторяемость: 0,4 µm - 5 µm

... подшипники из нержавеющей стали, гибридные, опционально керамические - Обратная связь: Линейная шкала, открытый контур - Разрешение обратной связи: 0.001 мкм - 0,1 мкм ...

Ход: 1 mm - 10 mm
Скорость: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,2 µm - 5 µm

... 0,2 мм/с - Двигатель: Пьезодвигатель - Подшипник: поперечные роликовые подшипники - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: ± 0,1 мкм ...

Ход: 1 mm - 16 mm
Скорость: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Повторяемость: 1 µm - 5 µm

... Исполнение для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Технические данные: - Ход: 16 мм - Повторяемость: - ± 1 мкм, ± 1,7 ...

Ход: 1 mm - 16 mm
Скорость: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Повторяемость: 0,7 µm - 5 µm

... , ± 1 мкм (двунаправленный) - Нагрузка: 98 Н - Макс. Скорость: 16,6 мм/с - Двигатель: Шаговый двигатель - Подшипник: перекрестные роликовые подшипники из нержавеющей стали, гибридные - Обратная связь: Линейная ...

Ход: 1 mm - 25 mm
Скорость: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Повторяемость: 0,3 µm - 5 µm

... Двигатель: Пьезодвигатель - Подшипник: Поперечный роликовый из нержавеющей стали, гибридный - Обратная связь: Линейная шкала - Разрешение обратной связи: 1 мкм ...

Ход: 360 mm - 360 mm
Скорость: 200 mm/s - 300 mm/s

... Поворотный столик высокого разрешения с большой апертурой UHV, DUV / EUV, чистая комната ISO 6, n x 360°, повтор 0.0003°, скорость 300°/с, нагрузка 5 кг - Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу) - Вакуум: все диапазоны ...