ОбзорГерметичные многоконтактные вводы керамика‑к‑металлу и стеклокерамика‑к‑металлу обеспечивают запечатанные электрические и инструментальные подключения в условиях высоких и ультравысоких вакуумов (UHV). Разработаны для последовательного присоединения внешними штекерами; некоторые варианты допускают штекеры как со стороны воздуха, так и со стороны вакуума для упрощения монтажа и обслуживания.
Применение- Оборудование для обработки полупроводников
- Аналитические испытательные и измерительные приборы
- Датчики и преобразователи давления
- Системы измерения и управления в энергогенерации
- Ускорители частиц
- Печи для высоких температур
- Исследовательские энергетические центры
Материалы и конструкцияРазъемы изготавливаются из высокочистых материалов, совместимых с вакуумом. Изоляторы — высокопрочные, низкопотерянные корундовые керамики (94%–99% Al2O3), металлизированные методом спекания огнеупорных металлов. Конструкционные и сопрягаемые детали доступны из Kovar®, нержавеющей стали, никель‑железных сплавов, медно‑никелевых сплавов, молибдена и Alumel®. Сборки подвергаются бразировке медью, золотом‑медью или серебром‑медью для обеспечения герметичности.
Материалы уплотнения керамика‑металл- 94%–99% Al2O3 — Kovar — медная пайка
- 94%–99% Al2O3 — нержавеющая сталь — пайка золотом‑медью
- 94%–99% Al2O3 — никель‑железный сплав — пайка серебром‑медью
- 94%–99% Al2O3 — медно‑никелевый сплав — (вариант пайки)
- 94%–99% Al2O3 — молибден — (вариант прямого уплотнения)
Преимущества- Герметичное уплотнение, пригодное для HV и UHV приложений
- Высокое напряжение >12 кВ DC
- Высокий ток до 40 A на контакт
- Тест герметичности до 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He
- Температурный диапазон эксплуатации от −250°C до +450°C
- Соответствие RoHS там, где применимо
- Возможны индивидуальные конфигурации
Технические характеристики- Тип продукта: Многоконтактные вводы керамика‑к‑металлу и стеклокерамика‑к‑металлу (≥2 проводников)
- Керамический изолятор: 94%–99% Al2O3 (корунд)
- Металлы: Kovar®, нержавеющая сталь, никель‑железные сплавы, медно‑никелевые сплавы, молибден, Alumel®
- Материалы пайки/бразинга: медь, золото‑медь, серебро‑медь
- Электрические: Напряжение >12 кВ DC; Ток до 40 A на контакт
- Вакуумные характеристики: Герметично; тест утечек 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He; пригодно для HV и UHV
- Температурный диапазон: −250°C до +450°C
- Соответствие: RoHS, где применимо
- Кастомизация: Доступна для специфических требований