Квадрупольный масс-фильтр Innovacera, сокращенно квадруполь, является основным компонентом квадрупольного масс-спектрометра. Обычно он состоит из четырех параллельных цилиндрических или гиперболических металлических стержней. Применяются две пары электродов: постоянное напряжение (DC, U) и радиочастотное напряжение (RF, V·cos(ωt)). Квадрупольный масс-анализатор разделяет ионы на основе стабильности траектории ионов в колеблющемся электрическом поле.
Таблица структурных параметров:
- Варианты материалов: Керамика с золотым покрытием/Нержавеющая сталь/Молибден
- Диаметр стержней: 2-16мм
- Длина стержней: 100-300мм
- Основание: Алюминиевая керамика/Обрабатываемая стеклокерамика
- Комплексная точность: ≤3μm
Свойства материала из 99% алюминиевой керамики:
- Цвет: Слоновая кость
- Основные характеристики: Отличная стойкость к плазменной коррозии, высокая износостойкость.
- Область применения: Компоненты полупроводникового оборудования, износостойкие и коррозионностойкие детали.
- Плотность: 3.88 г/см3
- Водопоглощение: 0%
- Твердость по Виккерсу: 17 HV
- Прочность на изгиб: 350 МПа
- Прочность на сжатие: 2450 МПа
- Модуль Юнга: 350 ГПа
- Коэффициент Пуассона: 0.22
- Трещиностойкость: 4-5 МПа·м1/2
- Линейный коэффициент расширения (40-400°C): 8.2 x10-6/°C
- Теплопроводность (20°C): 25-30 Вт/(м·К)
- Удельная теплоемкость: 0.8 Дж/(кг·К)x103
- Объемное сопротивление (20°C): >1015 Ом·см
- Диэлектрическая прочность: 20 кВ/мм
- Диэлектрическая постоянная: 9.2
- Коэффициент диэлектрических потерь: 2 x10-4
- Потеря веса в азотной кислоте (HNO3) (90°C): 1015 Ом·см, Диэлектрическая прочность 20 кВ/мм, Диэлектрическая постоянная 9.2, Коэффициент диэлектрических потерь 2 x10-4, Максимальная температура использования 1500°C