Вакуумметр с холодным катодом

с ионизациейс горячим катодом

Обзор
Ионизационный вакуумметр высокого вакуума INNOVACERA предназначен для измерения степени вакуума в лабораторных, промышленных и научно-исследовательских системах. Он ионизирует молекулы газа в специальной камере и измеряет возникающий ионный/электронный ток для определения плотности газа и уровня вакуума. Доступны варианты с горячей катодой, холодной катодой и радиоактивным источником в зависимости от применения и диапазона давлений.

Принцип действия
Прибор состоит из ионизационной камеры и коллектора электронов/ионов. Молекулы газа, попадающие в камеру, ионизируются нагревательными нитями, электронными пучками или другими источниками ионизации. Положительные ионы (или электроны, в зависимости от конструкции) собираются электрическим полем и создают измеряемый ток, пропорциональный плотности молекул газа. Увеличение измеряемого тока соответствует более высокой плотности газа (ниже вакуум); уменьшение тока — более низкой плотности (выше вакуум).

Диапазон измерений

• Для измерений при очень низком давлении применять высокое напряжение и большую ионизационную камеру
• Для измерений при более высоком давлении применять низкое напряжение и меньшую камеру

Номинальный диапазон измерений: 0,1 ~ 10^-8 Па

Технические характеристики

• Тип продукта: Ионизационный вакуумметр высокого вакуума
• Производитель: INNOVACERA
• Принцип измерения: ионизация молекул газа в камере с последующим сбором заряженных частиц; измерение результирующего тока, пропорционального плотности газа
• Методы ионизации: горячая катода (нагреваемая нить), холодная катода, электронный пучок, радиоактивный источник (в зависимости от типа)
• Рекомендуемый режим работы: высокое напряжение + большая камера для очень низкого давления; низкое напряжение + малая камера для более высокого давления
• Номинальный диапазон измерений: 0,1 ~ 10^-8 Па

Применение

• Вакуумные системы лабораторий и научно-исследовательских учреждений
• Промышленные вакуумные процессы: напыление тонких пленок, полупроводниковое производство, обработка поверхностей
• Вакуумная метрология и лаборатории калибровки

Установка и обслуживание
Установите прибор на совместимый вакуумный фланец с соответствующими электрическими вводами и заземлением. Обеспечьте чистоту для предотвращения загрязнения ионизационной камеры. Регулярно калибруйте по эталонному прибору. Заменяйте нити или радиоактивные источники в соответствии с инструкциями производителя и соблюдайте требования безопасности для радиоактивных типов.