Система контроля CMOS TR7900Q SII

с помощью видеосистемы технического зренияLEDс камерой

Введение
TR7900Q SII создан на платформе с высокой разрешающей способностью 2,5 μm и 25 Mpix для полупроводниковой и передовой упаковочной промышленности. Алгоритмы на базе ИИ и метрологические возможности повышают эффективность решения Smart 3D AOI. 3D SEMI AOI полностью интегрируется с модулями загрузки/выгрузки для упрощения обработки лент и магазинов. Stop-and-Go 3D AOI может инспектировать die bonding, wire/ball/ribbon/wedge bonding, SiP, underfill, SMD, bumps и паяные соединения. Smart Factory AOI способен инспектировать диаметры проводов до 15 μm (0,6 mil).

Функции

• Продвинутое обнаружение дефектов упаковки для wire bonding и die bonding
• 3D AOI с высокой разрешающей способностью 2,5 μm и метрологическими возможностями измерений
• Встроенные загрузчик и разгрузчик для обработки магазинов
• ИИ‑детекция проводов (опция)
• Инспекция проводов Au, Al, Ag и Cu до 15 μm
• Проверка соединений: ball bond, wedge bond, ribbon bond
• SWIR подсветка для обнаружения внутренних трещин и сколов (опция)
• Совместимость с чистыми помещениями: Class 1000 (ISO Class 6, ISO 14644-1)

Оптическая система (ключевые элементы)
Метод получения изображения: Stop-and-Go Imaging
Верхняя камера: 25 Mpix
Разрешение изображения: 2,5 μm
Освещение: Multi‑phase True Color LED
3D технология: Quad цифровые фринж‑проекаторы
Макс. диапазон 3D высот: 15 mm

Моторная платформа и управление (ключевые элементы)
Управление осью X: шариковинтовой привод + AC серводвигатель или линейный мотор
Управление осью Y: двойной шариковинтовой привод + AC серводвигатель или двойной линейный мотор (опция)
Управление осью Z: шариковинтовой привод + AC серводвигатель (редуктор опционален)
Разрешение осей X‑Y: 0,1 μm

Обработка плат / магазинов (ключевые элементы)
Макс. количество стопок магазинов: 3 (на основе ширины магазина 125 mm)
Ширина магазина: 50 - 175 mm
Длина магазина: 120 - 320 mm
Высота магазина: 80 - 150 mm
Ширина ленты*: 35 - 150 mm
Длина ленты: 100 - 285 mm
Толщина ленты: 0,1 - 1,5 mm
*Если ширина ленты 35–54 mm, требуется специальная конструкция
Макс. вес ленты: 0,5 kg
Держатель / фиксация ленты: ленточный конвейер
Верхний зазор: 7 mm
Нижний зазор: 10 mm
Краевой зазор: 3 mm

Функции инспекции (примеры обнаруживаемых дефектов и измерений)
Die bonding: отсутствует, ориентация, поворот, смещение, наклон, сколы, трещина, царапина, посторонний материал; толщина шва; эпоксид на пластинке; покрытие эпоксидом; высота эпоксидного слоя
Wire bonding: обрыв, короткое замыкание, sweep/sink, отсутствие, раскачивание, обрушение, высота петли, провисший провод, зазор между пересекающимися проводами; трассировка провода; диаметр ball bond; размещение ball; ширина stitch; покрытие stitch над шаром; ball‑off pad; clubbed ball; толщина шара; поднятый шар; low landing; бонд на загрязнении; посторонний материал
Область бондинга / пад: выступ меди; трещина; скол; оголенная медь; оголенный никель; целевой материал; царапины или следы щетки; окисление; посторонний материал

Габариты и вес
WxDxH (без модуля авто загрузки/выгрузки): 990 x 1495 x 1700 mm
WxDxH (с модулем авто загрузки/выгрузки): 2065 x 1490 x 1700 mm
Примечание: сигнальная башня не включена; высота сигнальной башни 515 mm
Вес: 823 kg (без модуля авто); 989.5 kg (с модулем авто)

Примечания
Опционные модули: ИИ‑детекция провода, SWIR‑подсветка и другие опционные модули могут быть доступны. Система интегрирует модули загрузки/выгрузки для упрощения обработки лент и магазинов.

Технические характеристики

• Модель: TR7900Q SII
• Метод изображения: Stop-and-Go Imaging
• Разрешение верхней камеры: 25 Mpix
• Разрешение изображения: 2,5 μm
• Освещение: Multi‑phase True Color LED (SWIR опционально)
• 3D технология: Quad цифровые фринж‑проекаторы
• Макс. диапазон 3D высот: 15 mm
• Разрешение осей X‑Y: 0,1 μm
• Управление осью X: шариковинтовой привод + AC серводвигатель или линейный мотор
• Управление осью Y: двойной шариковинтовой привод + AC серводвигатель или двойной линейный мотор (опция)
• Управление осью Z: шариковинтовой привод + AC серводвигатель (редуктор опционален)
• Макс. стопка магазинов: 3 (на основе 125 mm)
• Ширина магазина: 50 - 175 mm
• Длина магазина: 120 - 320 mm
• Высота магазина: 80 - 150 mm
• Ширина ленты: 35 - 150 mm (специальная конструкция для 35–54 mm)
• Длина ленты: 100 - 285 mm
• Толщина ленты: 0,1 - 1,5 mm
• Макс. вес ленты: 0,5 kg
• Держатель / фиксация: ленточный конвейер
• Зазоры: вверх 7 mm; вниз 10 mm; край 3 mm
• WxDxH (без загрузчика): 990 x 1495 x 1700 mm
• WxDxH (с загрузчиком): 2065 x 1490 x 1700 mm
• Вес: 823 kg (без загрузчика); 989.5 kg (с загрузчиком)