Система электроосаждения EPA

Система RENA EPA предлагает точные и гибкие решения для автоматизированных процессов, связанных с нанесением гальванических покрытий. Ее модульная конструкция позволяет заказчикам быстро перенастраивать систему в соответствии с заранее заданными или новыми технологическими структурами. Она облегчает автоматизированное нанесение покрытий на чистые металлы и сплавы (Au, Ag, Cu, Sn, Ni, SnAg), а также на различные металлы для покрытия. Благодаря превосходному потоку жидкости и жесткому контролю электрического поля система RENA EPA обеспечивает равномерное нанесение покрытия с высокой скоростью в автоматизированных процессах. Эффективность и точность Высокая масштабируемая производительность и исключительная равномерность покрытия - это лишь два основных преимущества системы RENA EPA. Возможности прецизионного управления выгодны для широкого спектра применений в полупроводниковой и микросистемной технике, таких как создание функциональных металлических покрытий для МЭМС, микроформовка и формовка сверхмалых деталей для микросистем, производство оптоэлектронных компонентов или бампинг. Система предоставляет заказчикам большую свободу в выборе размера и геометрии пластин, а также возможность расширения за счет дополнительных технологических модулей для обработки, травления и сушки. Обзор преимуществ системы RENA EPA подходит для нанесения покрытий на чистые металлы и сплавы (Au, Ag, Cu, Sn, Ni или SnAg) подходит для различных химикатов для нанесения покрытий для пластин диаметром 2", 4", 6", 8" и 12" поддерживает квадратные подложки и специальные геометрии пластин однослойные и многослойные процессы инертная или растворимая анодная система большой диапазон толщин покрытия низкое отклонение от края <= 3 мм превосходный поток жидкости очень ровное покрытие