- Продукция
- Каталоги
Система очистки для полупроводниковой пластины для водыавтоматическаядля полупроводниковой промышленности
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Технология
- для воды
- Режим функционирования
- автоматическая
- Применение
- для полупроводниковой промышленности, для полупроводниковой пластины
Описание
Чистые пластины - это основа для производства превосходных полупроводниковых изделий. Полностью автоматизированная система окончательной очистки RENA обеспечивает высочайшее качество поверхностей на последнем этапе производства пластин. Продуманные процессы и усовершенствованное планирование делают ее идеальным решением для производства полупроводниковых пластин с высокой производительностью и сложными требованиями.
Особенности и преимущества
Превосходная чистота поверхности для пластин размером до 300 мм
Полностью автоматизированная обработка без носителя или с носителем LMC
Идеальная финишная обработка с помощью сушилки RENA Marangoni Dryer
Стандартные интерфейсы SEMI для простой интеграции с фабрикой
---
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.