Влажная химическая очистка и травление выполняются с высокой эффективностью, включая промывку и сушку. Система периодического распыления RENA предназначена для кислот и щелочей. В одной камере можно объединить до пяти процессов, что открывает большие возможности для повышения эффективности и оптимизации процесса. Оператор не имеет прямого контакта с химикатами, что делает процесс безопасным.
Характеристики и преимущества
Сниженное потребление среды
Оптимизированная площадь основания
Работа с одной или двумя кассетами
Удобное обслуживание, легкий доступ
Варианты интерфейса SECS/GEM
Гибкость и возможность модернизации
Повышенная безопасность оператора
---