Осушитель изопропанола VaporDry

батчдля очисткипромывки

RENA VaporDryer объединяет процесс сушки IPA с очисткой и ополаскиванием, обеспечивая одноэтапный процесс. Это идеальное решение для вытеснения воды из элементов с высоким аспектным отношением и сквозных кремниевых отверстий (TSV), а также для эффективной сушки сложных поверхностей. VaporDry может быть интегрирован в платформы периодической иммерсии RENA. Эта сушилка может применяться как для FEoL, так и для BEoL. Весь процесс контролируется и управляется передовым программным обеспечением управления процессом IDX Flexware компании RENA. Характеристики и преимущества Более низкая стоимость по сравнению с сушилками Марангони снижение потребления ПНД на 85 % по сравнению с осушителями паров с кипящим отстойником Прочные, надежные и проверенные на практике характеристики Выдающаяся производительность по частицам (глубина 750 мкм) Небольшая площадь основания