Стенд для влажной обработки с погружением Advancer

импульсного действиядля полупроводникадля полупроводниковой пластины

Для одноэтапной мокрой обработки полупроводниковых пластин компания RENA предлагает полуавтоматическое оборудование семейства "Advancer". Это надежное, проверенное на практике и легко конфигурируемое оборудование для иммерсионной обработки, занимающее очень мало места. "Advancer" - идеальное решение для одноэтапного травления, очистки и нанесения резиста на полупроводниковые поверхности. Семейство "Advancer" состоит из трех платформ: Micro, Classic и Gemini. Advancer Micro" и "Advancer Classic" имеют один технологический и один промывочный резервуар с боковым линейным роботом для одноэтапных процессов. Advancer Gemini" - это мокрый стенд с двумя процессами, двумя роботами и одна из самых экономичных платформ. Advancer Gemini" может быть использован как для удвоения производительности, так и для выполнения последовательных технологических операций с уменьшением общей площади и стоимости. Системы RENA обеспечивают превосходное управление процессом и мониторинг с помощью программного обеспечения IDX Flexware с преимущественными функциями и возможностями. Все системы RENA удобны в обслуживании и соответствуют интерфейсу SECS/GEM заводского узла. Характеристики и преимущества Возможность сушки до сушки Одноэтапный процесс и ополаскивание Работа с одной или двумя кассетами размер пластин от 50 до 200 мм обработка 150 и 200 мм без изменений Программное обеспечение для управления процессом IDX Flexware Интуитивно понятный сенсорный экран HMI Удобный для обслуживания робот с боковым креплением Варианты интерфейса SECS/GEM Гибкость и возможность модернизации Индивидуальный подход к спецификации заказчика