Система очистки для обработки мокрым способом Inception

путем опрыскиванияс растворителемкислотой

RENA Inception, компактная полуавтоматизированная система обработки одной пластины, является идеальным решением для процессов влажной химической очистки, травления и нанесения резиста. Эта платформа позволяет перейти от НИОКР к опытному производству в полупроводниковой промышленности. Inception может применяться как для кислотных операций в FEoL, так и для растворителей в BEoL. Она обеспечивает превосходную однородность травления <= 1% в пределах пластины, от пластины к пластине и от партии к партии. Inception состоит из двух подвижных распылителей с отдельными линиями подачи химикатов, которые вместе с многобаковой конструкцией обеспечивают многоступенчатую обработку. Имеются различные патроны для различных размеров пластин и подложек, что позволяет легко настраивать установку для различных применений. Программное обеспечение IDX Flexware компании RENA предоставляет множество преимуществ для управления и мониторинга процесса. Все системы RENA совместимы с интерфейсом SECS/GEM заводского узла. Характеристики и преимущества Подложки до 200 мм и маски до 7 x 7 Однородность травления превышает показатели серийных систем Ручная или автоматизированная обработка пластин Одиночный или двойной загрузочный порт от 2 до 4 емкостей для химического процесса Сверхточный контроль концентрации (ABB, Horiba, CI Semi) Возможность высокоточного дозирования (Chemical & DI) Автоматическая химическая компенсация потерь Малая занимаемая площадь