Осушитель для очистки Genesis

с распылениембатчпромывки

Сушильная машина RENA Genesis Marangoni сочетает в себе процесс сушки с очисткой и промывкой, обеспечивая одноэтапный процесс. Genesis - это запатентованная технология, обеспечивающая исключительную чистоту вафель и удаление воды. Эти сушилки могут применяться как в качестве автономных платформ, так и интегрироваться в погружные мокрые стенды периодического действия. Весь процесс контролируется и управляется эксклюзивным программным обеспечением управления процессом IDX Flexware компании RENA. Сушилка Marangoni от RENA обеспечивает превосходную производительность, улучшенный выход и уменьшенное присутствие частиц. Характеристики и преимущества Экономичность Прочная, эффективная и чистая Ручная или автоматизированная обработка пластин Размер пластин 50 - 200 мм Тефлоновые кассеты Сушит гидрофобные и гидрофильные поверхности Не повреждает фоторезист Низкий расход IPA (< 20 мл на цикл сушки) Превосходные характеристики частиц Типичное время цикла 7-20 минут Встроенная опция фильтрации воды DI Опциональный впрыск химикатов Опциональная рециркуляция IPA для более надежной работы с частицами