RENA COMPASS Spin Rinse Dryers - это сушилки для пластин премиум-класса, которые смывают все остатки, оставшиеся после предыдущих технологических операций, а затем сушат пластины. Эти платформы обладают самыми передовыми функциями, которые можно найти в современных SRD. Семейство RENA COMPASS SRD разработано для снижения эксплуатационных расходов при обеспечении исключительной чистоты, сухости и характеристик частиц. В этих платформах используется промывка водой DI с последующей сушкой N2 как для высоко-, так и для низкопрофильных кассет. Бесконтактный нагрев в COMPASS SRD обеспечивает более чистый N2.
Характеристики и преимущества
Низкие эксплуатационные расходы
Значительная экономия N2
Низкая производительность по частицам
коллектор для распыления DI воды с 10 форсунками
Превосходный контроль вибрации и статического электричества
Расширенное управление процессом с помощью IDX Flexware
Программируемая уставка для нагревателя N2 и контроль температуры
Управление сопротивлением, антистатом и нагревателем одеяла
Высокопрофильная и низкопрофильная кассета
---