Стенд для влажной обработки с погружением Evolution

импульсного действияавтоматизированныйдля полупроводника

Evolution - полностью автоматизированный мокрый стенд для производства полупроводников сухим способом Для высокопроизводительной мокрой обработки полупроводниковых пластин компания RENA предлагает "Evolution", полностью автоматизированный линейный мокрый стенд. С помощью "Evolution" можно выполнять различные процессы обработки поверхности, такие как очистка, травление, нанесение резиста и сушка. Эта химическая станция имеет гибкую модульную конструкцию с надежным роботом-переносчиком и может быть настроена в соответствии с вашими конкретными технологическими процессами. Evolution" позволяет выполнять пакетную обработку одновременных партий пластин, а также обработку "от сухого к сухому". Высокая производительность, низкая стоимость эксплуатации и превосходный контроль процесса - вот основные характеристики этой платформы. Превосходный контроль процесса достигается благодаря программному обеспечению IDX Flexware, одному из самых передовых в полупроводниковой промышленности с уникальными функциями и возможностями. Специализированные технологические емкости, такие как TruEtch, FluidJet и SiEtch, ультразвуковые и мегазвуковые емкости, а также запатентованная сушилка Genesis Marangoni могут быть интегрированы в "Evolution" для удовлетворения технологических требований заказчика. Все системы RENA совместимы с интерфейсом SECS/GEM заводского узла. Характеристики и преимущества Полноавтоматический режим, работа в режиме "от сухого к сухому размер пластин от 100 мм до 200 мм партии из 25, 50 и 100 пластин Программное обеспечение управления IDX Flexware Одновременная обработка партий и рецептов Расширенный мониторинг процесса Встроенный сенсорный экран HMI Опции интерфейса SECS/GEM Мини-среда класса 1 Версия из нержавеющей стали для работы с растворителями Гибкость и возможность модернизации Индивидуальный подход к спецификации заказчика Увеличенное время работы и пропускная способность Увеличение срока службы химикатов и резервуаров