Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XYZ3TH

6 осей

Платформа VULCANO XYZ3TH составлена стандартное оборудованного XY VULCANO с модулем совмещенным Z3TH. Этот модуль 4 степеней свободы, обеспечивает вращение тэты 364°, двойные Z-оси, грубую одну для вафли нагружая и разгружая, и точное одно для регулировки фокуса, так же, как коррекции подсказки и наклона над ±0.1°. Характеристики - Компактный след ноги - Стабильность положения нанометра - Высокая динамика: 2,5 g, 1,5 m/s - Низкие времена движения и скамьи - Чистая комната ISO1 совместимая - Коррекция Подсказк-наклона над ±0.1° - Двойная интеграция z - Встроенный компенсатор силы тяжести в z - Выдающая прямота z - Увеличенная повторимость и дрожание z - Способность исправить плоскостность этапа - Встроенная поставка вакуума на уровне цыпленка