Система позиционирования стековая архитектура CHARON2

6 осейодноосная3 оси

Платформа CHARON2 построена на прочной, надежной и элегантно уложенной архитектуре, спроектированной с учетом принципов модульности и масштабируемости. Она начинается с автономной оси Х и заканчивается полной системой перемещения до 7 осей. Производительность таблиц данных доступна с различными конфигурациями электроники Его совместимость с текущими и будущими модулями и опциями позволяет охватить широчайшее пространство приложений и вариантов использования. Эта гибкая, масштабируемая, модульная и модернизируемая платформа предлагает начальный уровень для всех полупроводниковых приложений и многих случаев использования на других рынках, например, в медицине, фармацевтике, материаловедении и других Платформа CHARON2, постоянно развивающаяся на всех обслуживаемых рынках, поддерживает продление срока службы изделий OEM-производителями, а также пути их модернизации. Точность позиционирования ±1 мкм в сочетании с превосходной двунаправленной повторяемостью и высокой динамикой поддерживают развитие приложений во всех технологических и промышленных областях. Характеристики - Общий ход: до 650 мм x 410 мм - Доступно в 9 стандартах x 2 электроники = 18 конфигураций как готовые изделия - Компактные размеры - Грузоподъемность до 30 кг - Включенные опции и функции: всасывание частиц из рельсов (патент ETEL), пользовательские сигналы, пневматические линии и многое другое. - совместимость с ISO1 чистыми помещениями - Коррекция наклона наконечника с помощью комбинированного модуля Z3TM - Встроенный источник вакуума на уровне патрона - Короткое время переезда и обустройства Основные характеристики - Точность позиционирования: ±1 мкм для XY и ±3 дуги для T - Стабильность положения: ±2 нм для XY, ±0,02 арксека для T и ±3 нм для мелкой Z - Двунаправленная повторяемость: ±0,4 мкм для XY, ±2 дуги для T и ±0,03 мкм для мелкой Z