Система позиционирования стековая архитектура CHARON2

3 оси6 осейодноосная

CHARON2 - наша самая популярная платформа для систем перемещения. Благодаря прочной и надежной стековой архитектуре, разработанной с учетом модульности и масштабируемости, она признана экономически выгодной отправной точкой для многих готовых решений по перемещению. Семейство CHARON2 поставляется во множестве различных предустановленных конфигураций - от одной оси X до полной системы перемещения с 6 степенями свободы (DOF). Выбор из стандартной электроники делает систему CHARON2 масштабируемой по производительности, чтобы наилучшим образом удовлетворить целевые спецификации. С более чем 3000 этапов, работающих в полевых условиях, CHARON2 решает все задачи, связанные с полупроводниками, и многие случаи использования на других рынках, таких как медицина, фармацевтика или материаловедение. Точность позиционирования на уровне ±1 мкм в сочетании с отличной двунаправленной повторяемостью и высокой динамикой достигается при оптимизированной площади благодаря собственным разработкам в области двигателей, электроники и управления, что демонстрирует инновационные и экспертные возможности ETEL мирового класса. Характеристики Стандартные размеры 365 x 355 мм и 475 x 410 мм Компактная площадь и дизайн, подходящий для применения в условиях ограниченного пространства До 6 степеней свободы До 30 кг полезной нагрузки Встроенный источник вакуума и сигнальные кабели заказчика на уровне патрона Вот основные характеристики: Нанометровая стабильность положения Обеспечивает точность позиционирования в течение длительного времени. Совместимость с чистыми помещениями ISO2 Подходит для контролируемых сред с жесткими требованиями к чистоте. Коррекция наклона с помощью комбинированного модуля Z3TM+ Обеспечивает точную настройку для оптимального позиционирования.