Ось вращения сталь DXRH

с прямым приводомполаядля полупроводника

Наша новейшая поворотная ось DXRH с механическим подшипником с 1 степенью свободы (DOF) отличается исключительной точностью. DXRH характеризуется системой энкодеров и непревзойденными механическими свойствами, сравнимыми с характеристиками воздушных подшипников, без сопутствующих сложностей. Благодаря лучшим в своем классе энкодерам и подшипникам HEIDENHAIN, а также нашему беззубому двигателю прямого привода, DXRH обеспечивает точную работу без пульсаций крутящего момента. Полная совместимость с нашими стандартными интерфейсами обеспечивает беспроблемную интеграцию и повышение производительности без необходимости перепроектирования. Характеристики Двунаправленная повторяемость: ±0,25 арк Точность позиционирования до ±3 дуг (без калибровки) Стабильность положения: ±2,5 мксек Радиальное биение: ±1 мкм Суммарная осевая погрешность: ±2 мкм" Вот основные характеристики: Бесконечное тета-вращение DXRH обеспечивает непрерывное вращение для универсального позиционирования. Энкодер сверхвысокого разрешения Энкодер с 360 000 линиями обеспечивает точную обратную связь для точного управления движением. Грузоподъемность Может выдерживать полезную нагрузку до 12,5 кг, обеспечивая универсальность для различных применений. Совместимость с вакуумом Оснащен вакуумной подачей и продувкой для обеспечения чистоты оси, идеально подходит для чувствительных сред. Совместимость с чистыми помещениями Совместимость с чистыми помещениями класса 1 ISO обеспечивает надежную работу в контролируемых средах. Модульные опции Доступно несколько опций, включая модульный внешний жесткий упор, комплект для устранения шатаний, вакуум для пластин и поддержку разъемов, что повышает гибкость и адаптируемость. Технология беззубого двигателя Используя технологию беззубого двигателя, DXRH обеспечивает высокоскоростную стабильность с нулевым зубчатым зацеплением.