Ось вращения с прямым приводом DXRH

для полупроводникаточная

DXRH является новейшим дополнением к решениям ETEL для поворотных осей. Это механическая ось вращения на базе подшипника 1 DOF, обеспечивающая превосходные характеристики с точки зрения точности и точности. Обладая 360'000 линейным энкодером и непревзойденными механическими характеристиками, непосредственно сравнимыми с решениями на основе воздушных подшипников без сопутствующих сложностей, DXRH обслуживается в своей основе лучшим в своем классе энкодером и подшипниками HEIDENHAIN, а также беззубым двигателем ETEL с прямым приводом без пульсаций крутящего момента. Полностью совместимый со стандартными интерфейсами ETEL, модуль DXRH доступен в виде отдельного модуля или интегрирован в портфель системы ETEL. Он также предоставляет возможность повышения производительности для всех приложений на базе DXR+ без изменения дизайна, так как интерфейсы идентичны. Поворотный модуль DXRH может быть интегрирован в штабелируемые платформы CHARON2 и VULCANO2. Благодаря конструкции из нержавеющей стали он обеспечивает высокую жесткость, точность, высокую степень чистоты, а также низкую термическую деформацию. Сосредоточившись на облегчении применения полупроводниковых приборов, модуль продолжает соответствовать всем разнообразным рынкам и потребностям, требующим решений для высокой точности и высокоточного вращения. Подходящий для различных применений и отраслей промышленности, вращающийся модуль DXRH особенно хорошо подходит для приложений контроля технологических процессов на пластинах, таких как метрология наложений, метрология критических размеров, метрология тонких пленок, а также фотоника.