Сверхточная линейная ось TBS

с шариковым винтомс серводвигателемвысокоэффективная

Линейная ось TBS от ETEL обладает непревзойденной точностью и производительностью, что делает ее идеальным решением для высокоточных задач в различных отраслях промышленности. TBS - это высокоточная линейная ось с 1 степенью свободы, использующая систему непрямого привода на основе механических подшипников. Такая конструкция обеспечивает исключительную точность и прецизионность в своей категории. Ось TBS управляется высокопроизводительным серводвигателем с малым числом оборотов и имеет схему управления с обратной связью с двумя энкодерами, что обеспечивает превосходные рабочие характеристики. Ось использует передовые технологии энкодеров HEIDENHAIN Corporate Group и обладает непревзойденными механическими характеристиками для макро- и микроперемещений на всем протяжении хода. Такие специфические конструктивные особенности, как тепловая развязка источников тепла, высокая жесткость и микрометрический жесткий упор, повышают стабильность и безопасность процесса. TBS особенно подходит для применения в полупроводниковой промышленности, включая контроль процесса изготовления пластин, метрологию накладок, критические размеры и метрологию тонких пленок, а также в фотонике. Он также отвечает требованиям других отраслей промышленности, требующих высокой точности, чистоты, стабильности и аккуратности. Характеристики Максимальная полезная нагрузка: 45 кг Непрямой привод - высокоточная шариковинтовая пара Двойной энкодер обратной связи Доступны такие опции, как микрометрический жесткий упор Вот основные характеристики: Ось обеспечивает двунаправленную повторяемость ±0,3 мкм, прямолинейность микродвижений ±50 нм и стабильность положения ±10 нм, что гарантирует точное и стабильное управление перемещением. Мощность полезной нагрузки Максимальная грузоподъемность 45 кг обеспечивает универсальность и надежность для широкого спектра применений.