Система позиционирования стековая архитектура VULCANO2

2-3 осимостовойдля контроля полупроводниковых пластин и метрологии

VULCANO2 - это наша портальная архитектура со штабелированными осями, сочетающая в себе наши знаменитые двигатели с железным сердечником, механические подшипники и оптические энкодеры высокого класса, обеспечивающие отличные геометрические характеристики при высокой динамике. По сравнению с нашим семейством CHARON2, VULCANO2 имеет более высокий рабочий цикл и грузоподъемность. Его компактные размеры обеспечивают максимальную экономичность без ущерба для пропускной способности и рабочих циклов. VULCANO2, как в стандартном исполнении, так и по индивидуальному заказу, обеспечивает постоянную повторяемость и точность даже при длительной эксплуатации. Эта платформа идеально подходит для приложений, требующих точности, таких как метрология наложения и процессы переворачивания микросхем на больших пластинах. Характеристики До 6 степеней свободы Встроенный источник вакуума и сигнальные кабели заказчика на уровне патрона Вот основные характеристики Нанометровая стабильность положения Обеспечивает точность позиционирования в течение длительного времени. Совместимость с чистыми помещениями ISO 2 Подходит для контролируемых сред с жесткими требованиями к чистоте. Коррекция наклона с помощью комбинированного модуля Z3TM+ Обеспечивает точную настройку для оптимального позиционирования. Функция грубой Z с комбинированным модулем Z3TM+ Дополнительный 12-миллиметровый электрический подъемный механизм для загрузки и выгрузки пластин. Встроенный источник вакуума на уровне патрона Способствует эффективной работе, обеспечивая надлежащее обращение с материалом. Короткое время перемещения и оседания Быстрая реакция и стабилизация для повышения производительности.