Система позиционирования стековая архитектура VULCANO2

2-3 осилинейнаядля полупроводниковой промышленности

VULCANO2 - это архитектура портальных штабельных осей, основанная на механическом подшипнике, соединенном с оптическими энкодерами высокого класса. Использование известных железо-ядерных двигателей ETEL, наряду с инновационными принципами проектирования, позволяет достичь высокой динамики при значительно улучшенных геометрических характеристиках и характеристиках движения. Сосредоточившись на облегчении использования полупроводниковых приложений, платформа остается совместимой со всеми разнообразными рынками и потребностями, требующими решений для более высокой динамики; на самом деле, даже ее лучшее в своем классе месторасположение превосходит ее для максимизации общей стоимости предложения по стоимости владения. Потребители, стремящиеся достичь более высокой пропускной способности, рабочих циклов или обслуживать большую полезную нагрузку без потери повторяемости или точности, могут с уверенностью принять стандарт VULCANO2 или производное индивидуальное решение. VULCANO2 также представляет собой идеальное решение для всех случаев применения, когда динамика, рабочие циклы и полезная нагрузка не столь строги, хотя точность позиционирования должна быть установлена на очень длительное время: доставка нескольких часов навигационной точности u-уровня - это уже не мечта, а солидная реальность из этого нового предложения от ETEL. Использование этой платформы подходит, но не ограничивается этим: - Контроль технологических процессов на пластинах, таких как метрология наложения, метрология критических размеров и метрология тонких пленок - Внутренняя часть: процессы флип-чипа, выполненные на больших панелях/подложках Характеристики: - Компактные размеры - Грузоподъемность до 80 кг - Нанометрическая стабильность положения на уровне - Высокая динамика - Отличная двунаправленная повторяемость и стабильность положения - совместимость с ISO 2 чистыми помещениями