Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XYT

3 оси

Платформа VULCANO XYT состоит из стандартной платформы VULCANO XY, оснащенной поворотным модулем RTTB, который включает в себя энкодер высокого разрешения, соединенный с превосходным механическим подшипником. Использование этой платформы подходит для, но не ограничивается этим: - Приложения для управления процессом производства пластин, такие как метрология наложения, критические размеры и тонкопленочная метрология - Back-end: специальные процессы с флип-чипами, выполненные на больших панелях/подложках Характеристики - Компактность - Стабильность положения нанометра - Короткие сроки переезда и урегулирования - Высокая динамика - Высокая двунаправленная повторяемость - Высокая стабильность положения - Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1