Система позиционирования комбинированные модули ZT

XYвертикальнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологии

Коробка ZT представляет собой модуль, сочетающий в себе две степени свободы, в Z и Theta, в одном устройстве. По направлению Z возможны два варианта управления: грубое и тонкое. Этот модуль может использоваться в автономном режиме или устанавливаться на платформе XY. Этот модуль особенно хорошо подходит для управления процессами производства пластин, таких как тонкопленочная метрология, критические размеры и т.д. Характеристики - Бесконечное вращение - Встроенная подача вакуума на уровне патрона подложки - Встроенный гравитационный компенсатор - Совместимость с ISO1 в чистых помещениях благодаря вакуумному всасыванию - Грубая ось Z с шагом 12 мм для загрузки/выгрузки пластин и точная ось Z с шагом 4 мм для регулировки фокуса - Версия без грубой Z может быть выполнена без грубой Z - Очень хороший Z дрожание, а также двигаться и оседать Основные характеристики - Двунаправленная повторяемость: ±0,3 мкм для Z и ±2 угловых секунды для T - Точность позиционирования: ±0,6 мкм для Z и ±3 угловых секунды для T - Поторопись: 0.1 м/с для Z и 15,7 рад/с для T - Ускорение до...: 0.2 г для Z и 104,7 Рад/с² для T - Стабильность положения: ±5 нм для Z и ±0,2 угловой секунды для T - Грузоподъемность: 1 кг