Система позиционирования комбинированные модули ZT

3 осиXYвертикальная

Модуль ZT box предлагает две степени свободы - Z и Тета - в одном устройстве, с возможностью грубой и точной регулировки по оси Z. Разработанный для приложений управления процессом производства пластин, он может работать самостоятельно или устанавливаться на платформу XY. Этот модуль обеспечивает универсальные возможности управления движением, имеет бесконечное вращение и встроенный вакуум на уровне патрона для вафель. Он оснащен гравитационным компенсатором и совместим с чистыми помещениями ISO 1, что делает его идеальным для метрологии тонких пленок и критических размеров в производстве полупроводников. Благодаря наличию грубой оси Z с ходом 12 мм для загрузки/выгрузки пластин и тонкой оси Z с ходом 4 мм для регулировки фокуса этот модуль обеспечивает точное и стабильное позиционирование. Кроме того, он обеспечивает превосходные показатели джиттера Z и перемещения и успокоения. Характеристики Ускорение: Z: 2 м/с², CZ: 1 м/с² и Theta 104,7 рад/с² Вот основные характеристики: Бесконечное вращение Обеспечивает непрерывное вращение для универсального позиционирования. Встроенный источник вакуума Встроенный вакуумный канал на интерфейсе вафельного патрона. Гравитационный компенсатор минимизация рассеиваемой мощности, повышение точности. Совместимость с чистыми помещениями Совместимость с чистыми помещениями ISO 1 достигается за счет вакуумного отсоса. Оси грубой и точной Z Встроенные грубая Z и тонкая Z обеспечивают компактность конструкции. Варианты персонализации Доступна версия без оси грубого Z для удовлетворения специфических требований. Отличные характеристики Обеспечивает очень хороший джиттер по оси Z и очень короткое время перемещения и успокоения.