Система позиционирования комбинированные модули Z3TM+

4 осиXYвертикальная

Модуль Z3TM расширяет диапазон платформ перемещения, предлагая четыре независимые степени свободы для передовых полупроводниковых приложений. Разработанный для передовых полупроводниковых приложений, этот модуль предлагает четыре независимые степени свободы - 3 поворотные оси (RX, RY, RZ) и одну вертикальную (Z) - обеспечивая исключительную производительность в плане точности и динамики на уровне пластин в компактном корпусе. Замена дорогостоящих пьезоэлектрических решений позволяет устранить проблемы гистерезиса, поддерживая разрешение нанометрового уровня, точность и повторяемость при повышенной динамике. Встроенная поддержка выравнивания образцов обеспечивает точный контроль плоскостности на уровне пластин, упрощает проектирование, снижает сложность оборудования и повышает надежность, ускоряя выход на рынок и улучшая соотношение цена/производительность. Характеристики Общий ход: тонкий Z ±2 мм, наклон наконечника ±0,08° и тета бесконечность Время перемещения и успокоения: Тонкое Z: 100 мкм @ ±30 нм за 60 мс / Тета: 90° @ ±40 мкдег за 360 мс Вот основные характеристики: Бесконечное тета-вращение Обеспечивает непрерывное вращение для универсального позиционирования. Коррекция наклона Коррекция на ±0,08° хода для выравнивания и улучшения перемещения и осадки. Подача вакуума Обеспечивает подачу вакуума по трубке до уровня патрона. Радиальное биение Обеспечивает точное радиальное биение менее ±3,5 мкм.