Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XY
2 оси

модуль контроля для полупроводниковой пластины
модуль контроля для полупроводниковой пластины
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Спецификации
для полупроводниковой пластины, 2 оси

Описание

Система VULCANO XY представляет собой трехступенчатую конструкцию, позволяющую получить компактное и экономичное решение в сочетании с механическими подшипниками и высокотехнологичными оптическими энкодерами. Основание нижней оси (Y1 и Y2) состоит из двух линейных двигателей с железным сердечником, управляемых в режиме портала, при использовании с контроллерами AccurET, что обеспечивает лучшую повторяемость и оптимальную эффективность управления. Верхняя ось (X) состоит из одного линейного двигателя с железным сердечником. Использование технологии железосодержащих сердечников обеспечивает высокую плотность усилия, что приводит к высокому ускорению и скорости, сохраняя при этом рабочую температуру на относительно низком уровне. Опорная плита верхней оси (X), которая также удерживает двигатель нижней оси (Y1 и Y2), изготовлена из алюминия для оптимизации массы и динамики. Термическое расширение осуществляется с помощью изгибающих элементов. Характеристики - Компактность - Стабильность положения нанометра - Короткие сроки переезда и урегулирования - Высокая динамика - Высокая двунаправленная повторяемость - Высокая стабильность положения - Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1

---

ВИДЕО

Каталоги

Салоны

Вы сможете встретиться с этим поставщиком на выставке(-ах)

BIEMH 2024
BIEMH 2024

3-07 июн. 2024 Bilbao (Испания) Зал 6 - Стенд C-04

  • Дополнительная информация

    Другие изделия ETEL S.A.

    Motion systems

    * Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.