Система позиционирования комбинированные модули Z3TH

XYротационнаявертикальная

Комбинированный модуль Z3TH расширяет спектр модулей, которые могут устанавливаться поверх существующих платформ XY. Модуль Z3TH с четырьмя степенями свободы обеспечивает поворот на 364°, двойные оси Z, грубую для загрузки и выгрузки пластин и тонкую для регулировки фокуса, а также коррекцию наклона и наклона на ±0,1°. Этот модуль Z3TH является прекрасной альтернативой пьезоэлектрическим приводам серии Z, устраняя гистерезис и нелинейность в разомкнутом контуре и обеспечивая лучшее отслеживание ошибок во время движения, повторяемость, а также производительность при перемещении и стабилизации еще в течение гораздо более длительных перемещений. Модуль Z3TH предназначен в первую очередь для работы с внешними приложениями и является правильным решением для решения любых задач: - Выравнивание между технологическим инструментом и подложкой - Картирование плоскостности - Улучшения в движении и урегулировании Первые области применения связаны с внутренней литографией и управлением процессом производства пластин. Характеристики - 364° Вращение теты - Коррекция наклона и наклона на ±0,1° для выравнивания, а также для улучшения движения и осадки - Вакуумный ввод до уровня патрона - Двойная Z-образная интеграция: большой ход для загрузки/выгрузки и точный ход для регулировки фокуса - Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1 - Низкий радиальный осевой и радиальный биение ±1 мкм