ОбзорЭкранированный вакуумный ввод Innovacera — это сквозной электрод, разработанный для надежной передачи высокого напряжения в вакуумные камеры при сохранении керамико‑металлического герметичного уплотнения. Встроенный заземлённый экран подавляет помехи высоковольтного поля, снижая утечки и риск электрического пробоя в требовательных вакуумных и прецизионных HV‑системах.
Ключевые характеристики- Встроенный заземлённый экран для подавления EMI и изоляции высоковольтных полей
- Электрические параметры: 5 kV DC / 3,6 A
- Свариваемый корпус из нержавеющей стали 304 для постоянного крепления к стенке камеры
- Герметичное керамико‑металлическое уплотнение
- Доступна опция сварной конструкции без заглушки
- Разработан для минимизации утечек и предотвращения электрических пробоев в вакуумных условиях
Материалы (доступные варианты)- Алюмина (Al2O3)
- Нитрид алюминия (AlN)
- Циркония (ZrO2)
- Нитрид бора (BN)
- Карбид кремния (SiC)
- Нитрид кремния (Si3N4)
- Пористая керамика
- Механически обрабатываемая стеклокерамика
- Алюмина, упрочнённая цирконией (ZTA)
Области применения- Оборудование для обработки полупроводников
- Масс‑спектрометры
- Системы ультра‑высокого вакуума (UHV)
- Оптические и фотонные приборы
- Электрическое и электронное испытательное оборудование
- Энергетические системы, требующие HV‑вводов
- Медицинские и приборы для науки о жизни
- Исследовательские и лабораторные вакуумные установки
- Прочее прецизионное высоковольтное вакуумное оборудование
Часто отмечаемые функциональные моменты- Свариваемый корпус из 304‑нержавеющей стали позволяет прямую сварку к стенке камеры для постоянной герметичности UHV
- Заземлённый экран снижает риск утечек и уменьшает вероятность электрического пробоя при работе в условиях высоковольтного вакуума
Технические характеристики- Электрические параметры: 5 kV DC, 3,6 A
- Материал корпуса: нержавеющая сталь 304 (свариваемая)
- Уплотнение: керамико‑металлическое герметичное уплотнение
- Конструкция: сварная, опция без заглушки доступна
- Максимальное давление (прочность): 1400 PSIG @ 20°C
- Рабочая температура (конфигурация без заглушки): -269°C до 450°C
- Рабочая температура (с заглушкой): -65°C до 165°C
- Основные преимущества: подавление EMI, изоляция HV‑полей, минимизация утечек, предотвращение электрических пробоев
- Типичные среды применения: вакуумные камеры, UHV‑системы, оборудование для обработки полупроводников, масс‑спектрометры