ОбзорМногоконтактные вводы керамика‑металл и стекло‑керамика‑металл представляют собой герметичные электрические вводы с двумя и более проводниками, предназначенные для передачи сигналов прибора, напряжения и/или тока в среды высокого и ультравысокого вакуума. Многие конструкции принимают штекеры со стороны атмосферы; некоторые варианты допускают штекеры со стороны вакуума.
Области применения- Оборудование для обработки полупроводников
- Аналитические измерительные и испытательные системы
- Датчики и преобразователи давления
- Измерения и управление в энергетике
- Ускорители частиц и исследовательские установки
- Печи промышленного и лабораторного назначения
- Энергетические исследовательские установки
Материалы и сборкаРецепторы выполнены из высокочистых материалов, совместимых с вакуумом. Изоляторы — высокопрочные оксид‑алюминиевые керамики (94%–99% Al2O3), металлизированные методом спекания тугоплавких металлов. Металлические компоненты включают Kovar®, нержавеющую сталь, никель‑железные сплавы, медно‑никелевые сплавы, молибден и Alumel®. Сборки пайкаются/бразируются сплавами на основе меди, золото‑медь или серебро‑медь для обеспечения герметичности.
Материалы уплотнения керамика‑металл:Керамический изолятор |
Металл |
Припой / Бразсовый сплав94%–99% Al2O3 | Kovar | Медь
| Нержавеющая сталь | Золото‑медь
| Никель‑железный сплав | Серебро‑медь
| Медь‑никелевый сплав |
| Молибден |
Преимущества- Герметичность с испытанием на утечку до 1×10‑10 mbar·L/s He
- Высокое рабочее напряжение (>12 kV DC)
- Высокая токовая нагрузка (до 40 A на контакт)
- Работа в условиях высокого вакуума и UHV
- Температурный диапазон: от −250°C до +450°C
- Соответствие RoHS
- Возможны индивидуальные конструкции под требования заказчика
Технические характеристики- Тип изделия: многоконтактные вводы керамика‑металл и стекло‑керамика‑металл (две или более проводников)
- Типичный керамический изолятор: 94%–99% Al2O3 (оксид алюминия)
- Металлы: Kovar®, нержавеющая сталь, никель‑железные сплавы, медно‑никелевые сплавы, молибден, Alumel®
- Бразсовые сплавы: медь, золото‑медь, серебро‑медь
- Электрические: >12 kV DC рабочее напряжение; до 40 A на контакт
- Вакуумные характеристики: пригодны для высокого и ультравысокого вакуума; герметичность проверена до 1×10‑10 mbar·L/s He
- Температурный диапазон: −250°C до +450°C
- Соответствие: RoHS
- Типичное применение: передача сигналов приборов, напряжения и тока в вакуумные системы; принимает штекеры со стороны атмосферы (некоторые конструкции принимают штекеры со стороны вакуума)