Проходной изолятор для полупроводника

вакуумныйс несколькими проходамис герметичным закрытием

Обзор Высоконадежный керамический вакуумный ввод Innovacera на 8 контактов, разработан для систем UHV и совместим с фланцами CF35 (CF2.75). Предоставляет альтернативу стандартным керамика‑металлическим вводам с эквивалентным напряжением, конфигурацией контактов и стандартом фланца, при этом поддерживает кастомизацию и сокращенные сроки поставки.

Преимущества

• Эквивалентен спецификациям стандартных керамика‑металлических вакуумных вводов
• Поддерживает 10 kV высокого напряжения и 30 A тока
• Надежное герметичное уплотнение для UHV
• Стандартный фланец CF2.75 для простого замещения с интерфейсами CF35
• Материал проводника (молибден или медь) и расположение контактов настраиваемы
• Доступны чертежи CAD и инженерная поддержка

Применение

• Оборудование для полупроводников
• Вакуумные камеры
• Системы испытаний высоких напряжений
• Ионные и плазменные системы
• Системы ультра‑высокого вакуума (UHV)

Технические характеристики

• Количество контактов: 8
• Номинальное напряжение: 10 kV
• Номинальный ток: 30 A
• Диаметр проводника: 0,094 дюйма (2,3876 мм)
• Материал проводника: медь или молибден (или по заказу)
• Изолятор: керамика из 95% оксида алюминия
• Фланец: CF2.75 (CF35)
• Рабочий температурный диапазон: -269 до 450 °C
• Максимальное давление: 1500 psig
• Габариты: OD 69,5 × 169 мм