Вакуумный проходной изолятор

с несколькими проходамиоднопроходнойс герметичным закрытием

Обзор Вакуумный электрический ввод KF40 с разъёмом BNC — компактное устройство для надёжной передачи BNC коаксиальных сигналов из атмосферы внутрь вакуумной камеры. Применим в системах высокого и ультравысокого вакуума, где требуются целостность сигнала, низкая утечка и вакуумная совместимость. Типичные области применения: исследовательские лаборатории, процессы полупроводников, вакуумная электроника и аналитические приборы.

Основная конструкция и варианты конфигурации

• Количество проводников / контактов
  • Одноканальный (1–2 контакта): для одиночной коаксиальной линии или управляющих сигналов
  • Многоканальный (напр., 4×BNC): интеграция нескольких независимых BNC‑интерфейсов на одном фланце KF40 для компактной многосигнальной разводки
• Согласование импеданса
  • 50 Ω согласованный тип: для радиочастотных и высокочастотных сигналов, снижение отражений
  • Несогласованный тип: для постоянного тока или низкочастотных управляющих и питающих линий
• Экранирование и заземление
  • Заземлённый экран: коаксиальный экран соединён с фланцем для подавления ЭМП
  • Плавающий экран: экран электрически изолирован от фланца для схем, чувствительных к заземлению или имеющих разницу потенциалов
• Расположение интерфейсов
  • Вывод с одной стороны (BNC со стороны воздуха): стандартный BNC со стороны атмосферы, штыри или паяные клеммы со стороны вакуума для внутренней проводки
  • Двойной вывод (BNC с обеих сторон): BNC с обеих сторон для модульных узлов и быстрой установки

Технические параметры

• Номинальное напряжение: ≤ 500 V DC
• Номинальный ток: ≈ 3 A на контакт
• Утечка: ≤ 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
• Макс. температура отпекания (bake): 150 °C (зависит от конструкции)
• Стандарт фланца: ISO‑KF40

Материалы и технологии

• Фланец/корпус: нержавеющая сталь 304 / 304L
• Изолятор: высокочистая корундовая (оксид алюминия) керамика
• Герметизация: металло‑керамическая вакуумная пайка (brazing)

Применение

• Системы высокого и ультравысокого вакуума
• Вводы RF‑сигналов и приборные модули
• Оборудование для полупроводниковых процессов
• Аналитические приборы (масс‑спектрометры, электронные микроскопы)
• Вакуумные экспериментальные установки и исследовательские устройства

Характеристики / технические спецификации

• Номинальное напряжение: ≤ 500 V DC
• Номинальный ток: ≈ 3 A на контакт
• Утечка: ≤ 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
• Макс. температура отпекания: 150 °C (зависит от конструкции)
• Стандарт фланца: ISO‑KF40
• Материалы: 304 / 304L нержавеющая сталь; высокочистая корундовая керамика в качестве изолятора
• Герметизация: металло‑керамическая пайка
• Опции импеданса: 50 Ω или несогласованный
• Опции экранирования: заземлённый экран или плавающий экран
• Конфигурации: одноканальный (1–2 контакта) или многоканальный (например, 4×BNC)