Керамическая пластина BN-AlN

из нитрида боранитрид алюминияизоляционная

Обзор
Композитные керамические детали AlN-BN изготавливаются спеканием порошков нитрида бора (BN) и нитрида алюминия (AlN). Композит сочетает электрическую изоляцию с теплопроводностью, механической прочностью, стойкостью к тепловому удару и устойчивостью к плазме галогенсодержащих газов, что делает его подходящим для компонентов, требующих отвода тепла и совместимости с вакуумом в вакуумном и полупроводниковом оборудовании.

Функция в ионных источниках
В ионных источниках атомные и молекулярные ионы формируются в вакуумной камере. Композит AlN/BN обеспечивает электрическую изоляцию, теплопроводность, способность к вакуумному уплотнению и низкий газовыделение, поэтому подходит для теплоотводов, теплопередающих пластин и конструкционных вакуумных деталей в узлах ионных источников.

Преимущества материала

• Механическая прочность и структурная стабильность.
• Высокая теплопроводность для эффективного отвода тепла.
• Низкий коэффициент теплового расширения.
• Низкие диэлектрические потери и надёжная электрическая изоляция.
• Коррозионная стойкость и не смачивание расплавленными металлами.
• Хорошая обрабатываемость для получения точных сложных форм.
• Возможность вакуумного уплотнения с низким газовыделением.
• Пропускает видимые и инфракрасные диапазоны; подходит для условий с высокочастотными волнами.

Свойства материала

• Основной состав: BN + AlN
• Цвет: серо-зелёный
• Плотность: 2.8–2.9 g/cm3
• Прочность на изгиб (трёхточечный): 90 MPa
• Прочность при сжатии: 220 MPa
• Теплопроводность: 85 W/m·K
• Коэффициент теплового расширения (20–1000℃): 2.8 × 10^-6 /K
• Максимальная рабочая температура (в атмосфере): 900 ℃
• Максимальная рабочая температура (в инертном газе): 1750 ℃
• Максимальная рабочая температура (в высоком вакууме): 1750 ℃

Применения

• Теплоотводы и элементы теплопередачи
• Вакуумные компоненты и вводы
• Детали, требующие низкой диэлектрической постоянной и низкого тангенса потерь
• Компоненты с требованием низкого коэффициента теплового расширения
• Электронные компоненты, сочетающие электрическую изоляцию и отвод тепла
• Каналы разряда для электрической тяги в движителях типа Hall