Тигель для полупроводниковой промышленности

керамическийдля использования в условиях высоких температуриз алюминия

Обзор продукта
Проводящие тигли из нитрида бора от INNOVACERA разработаны для процессов электронно-лучевого и термического выпаривания в производстве полупроводников и тонких пленок. Их проводящая, с низкой смачиваемостью поверхность и высокочистый состав защищают элементы от загрязнений и обеспечивают контролируемое выпаривание металлов и керамических материалов. Применимы для плавки сплавов, спекания редкоземельных и керамических материалов, а также для различных покрытий.

Ключевые свойства и области применения
Эти проводящие тигли демонстрируют отличную стойкость к высоким температурам и термическим циклам. Они химически устойчивы по отношению ко многим металлам и редкоземельным керамикам и остаются целыми при быстром нагреве и охлаждении. Типичные области применения: электронно-лучевое выпаривание, термическое выпаривание с индукционным или сопротивлением нагревом, напыление алюминия и кремния и другие процессы осаждения тонких пленок.

Преимущества

• Высокая чистота и хорошая отделка поверхности снижают загрязнение и улучшают качество пленки.
• Повышенные скорости выпаривания позволяют ускорить нанесение покрытий и сократить время цикла.
• Улучшенная тепловая стабильность снижает требования к мощности и повышает стабильность процесса.
• Длительный срок службы снижает время простоя и частоту замен.

Преимущества / Характеристики

• Превосходная стойкость к высоким температурам и повторяющимся тепловым циклам.
• Низкий коэффициент теплового расширения и низкая смачиваемость большинством расплавленных металлов.
• Термостойкость до 2000℃; нитрид бора не реагирует с алюминием и не является летучим.
• Повышенная скорость выпаривания: более короткие циклы процесса и повышенная общая выходность.
• Быстрая смена материала: минимизация времени простоя камеры и ускорение переналадки производства.
• Повышенная тепловая стабильность обеспечивает стабильное и контролируемое поведение при выпаривании.

Технические характеристики

• Основные компоненты: BN + TiB2
• Плотность: 3.0 g/cm3
• Состав связующего: B2O3
• Цвет: серый
• Удельное сопротивление при комнатной температуре: 300-2000 Ω·cm
• Рабочая температура: ниже 1800℃
• Теплопроводность: > 40 W/m·K
• Коэффициент теплового расширения: (4-6) x 10⁻⁶ K⁻¹
• Прочность на изгиб: > 130 MPa
• Скорость выпаривания: 0.35-0.5 g/min·cm²