Пиролитический нитрид бора (PBN) является одним из видов передовой керамики, Пиролитический нитрид бора PBN Disc и другие продукты из пиролитического нитрида бора синтезируются на пресс-форме методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), с использованием BCl3 и NH3 при высокой температуре и низком давлении. Продукты PBN отличаются исключительной чистотой, поскольку чистоту газового материала легче контролировать. Как правило, общее содержание примесей в продуктах PBN составляет <100 ppm, что означает чистоту не менее 99,99%. Это идеальный материал для окон.
Ведущие производители вакуумных микроволновых приборов используют алюмооксидную и бериллиевую керамику в качестве основных материалов для входных-выходных оконных барьеров. В настоящее время нитрид алюминия рассматривается как возможная альтернатива этим традиционным материалам. Между тем, хорошо известный пиролитический нитрид бора (PBN) представляется материалом, который остается недооцененным большей частью разработчиков ЭД. Пластина из пиролитического нитрида бора как материал окна для мощных СВЧ-электронных приборов.
---