Плоский нагревательный элемент

из пиролитического нитрида бора (ПНБ)

Элемент В качестве подложки для нагревательного элемента PBN используется высокочистый и высокоэффективный пиролитический нитрид бора. Пиролитический графит (PG) помещается на поверхность пластин PBN методом CVD в качестве проводника и нагревателя. Поскольку и PG, и PBN очень чисты и очень стабильны в вакууме или инертной атмосфере, нагревательный элемент PBN-PG может быть очень долговечным и сохранять чистоту в камере. Он может быть нагрет до 1600°C за очень короткое время без выделения каких-либо газовых компонентов. Эти нагревательные элементы являются идеальным продуктом для полупроводниковой промышленности и приложений, требующих высокой температуры, высокого вакуума и высокой чистоты.