Пиролитический нитрид бора - это сорт гексагонального нитрида бора. Он производится методом химического осаждения из газовой фазы для создания его твердого тела, и все кристаллы нитрида бора растут параллельно поверхности, на которую осаждается пар.
Из-за природы процесса CVD, детали из PBN обычно требуют толщины стенки не более 3 мм. PBN также является хорошим выбором для чрезвычайно высокой чистоты нитрида бора. 99,99% - это типичный сорт. Процесс CVD придает этому пиролитическому нитриду бора почти идеальную слоистую структуру, что приводит к анизотропной теплопроводности, делая его идеальным материалом для изготовления тиглей для выращивания кристаллов.
Применение пиролитической керамики из нитрида бора:
- Выращивание кристаллов (VGF, тигель LEC)
- Тигель для молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE)
- Нагреватель MOCVD
- Инфракрасное окно PBN
- Лампа бегущей волны (TWT) (опорный стержень PBN)
- Покрытие графита PBN
- Изолятор для вакуумного оборудования при высоких температурах
Характеристики пиролитической керамики из нитрида бора:
- Цвет PBN - слоновая кость и оранжево-коричневый, нетоксичный, без пор, легкий в обработке.
- Чистота достигает 99,99%, уплотнение поверхности, хорошие газобарьерные свойства.
- Прочность увеличивается с повышением температуры и достигает пика при 2200°C.
- Устойчивость к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам. Кроме того, он не реагирует с большинством расплавленных металлов и полупроводниковых материалов.
- Отличная термостойкость, отличная теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения.
- Высокое сопротивление, высокая диэлектрическая прочность, низкая диэлектрическая постоянная, низкий коэффициент потерь, отличная способность к микроволнам и инфракрасным лучам.
- Анизотропия в механических, тепловых и электрических свойствах.
Свойства пиролитической керамики из нитрида бора:
Свойство | Единица | Значение
---|---|---
Постоянная решетки | μm | a: 2.504 x 10^-10 c: 6.692 x 10^-10
Плотность | g/cm3 | 2.10-2.15 (тигель PBN); 2.15-2.19 (пластины PBN)
Микротвердость (Кнуп)(сторона ab) | N/mm2 | 691.88
Удельное сопротивление | Ω*cm | 3.11 x 10^11
Прочность на разрыв | N/mm2 | 153.86
Прочность на изгиб | N/mm2 | 243.63 (⊥C), 197.76 (⊥C)
Модуль упругости | N/mm2 | 235690
Теплопроводность | W/m*k | направление “a” 60 (200°C), направление “c” 2.60 (200°C)
Диэлектрическая прочность (при комнатной температуре) | KV/mm | 56
Ключевые характеристики:
- Материал: Пиролитический нитрид бора (PBN)
- Чистота: До 99,99%
- Метод производства: Химическое осаждение из газовой фазы (CVD)
- Применение: Выращивание кристаллов, тигли MBE, нагреватели MOCVD, ИК-окна, опорные стержни TWT, покрытие графита, высокотемпературные изоляторы
- Теплопроводность: Анизотропная, до 60 W/m*K (направление a при 200°C)
- Диэлектрическая прочность: 56 KV/mm при комнатной температуре
- Плотность: 2.10-2.19 g/cm³ в зависимости от формы
- Цвет: Слоновая кость до оранжево-коричневого
- Отличная химическая стойкость и термостойкость