Тигель для полупроводниковой промышленности

из пиролитического нитрида бора (ПНБ)

Пиролитический нитрид бора является разновидностью гексагонального нитрида бора. Он производится методом химического осаждения из паровой фазы для создания твердого тела, и все кристаллы нитрида бора растут параллельно поверхности, на которую осаждается пар. Из-за особенностей процесса CVD, детали из PBN обычно имеют толщину стенки не более 3 мм. PBN также является хорошим выбором для нитрида бора очень высокой чистоты. 99.99% является типичным сортом. CVD-процесс придает пиролитическому нитриду бора почти идеальную слоистую структуру, что приводит к анизотропной теплопроводности, делая его идеальным материалом для изготовления тиглей для выращивания кристаллов. Детали из PBN от INNOVACERA включают диски из PBN, листы из PBN, кольца из PBN, тигли из PBN VGF, тигли из PBN LEC, тигли из PBN MBE, конические тигли из PBN и другие детали из PBN на заказ. Характеристика 1. Цвет PBN находится между слоновой костью и оранжево-коричневым, нетоксичен, импористость, легкая обработка. 2. Чистота до 99,99%, поверхностное уплотнение, хорошие газобарьерные свойства. 3. Прочность увеличивается при повышении температуры и достигает максимума при 2200ºC. 4. Устойчив к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам. Между тем, он не вступает в реакцию с большинством расплавленным металлом и полупроводниковыми материалами. 5. Отличная устойчивость к тепловому удару, отличная теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения. 6. Высокое сопротивление, высокая диэлектрическая прочность, низкая диэлектрическая проницаемость, низкий коэффициент рассеивания, отличная способность к микроволновому и инфракрасному излучению. 7. Анизотропия в механике, тепло и электричество