В производстве полупроводников нитрид бора может использоваться в качестве травителя и сырья для осаждения тонких пленок, выступая в качестве защитного слоя, предотвращающего повреждение или загрязнение устройства.
Кроме того, нитрид бора может использоваться в качестве исходного материала для испарения электронным лучом при получении различных тонкопленочных материалов.
Например: Электронно-лучевое испарение покрытия проводящего тигля из нитрида бора (BN тигля) - для оборудования для осаждения тонких пленок.
Тигли из проводящего нитрида бора - это высокочистые гладкие тигли, предназначенные для нанесения покрытий электронно-лучевым испарением.
Он обладает превосходной высокотемпературной стойкостью и термоциклическими свойствами, а также не вступает в реакцию с различными металлами и керамическими редкоземельными элементами.
Даже в условиях быстрого нагрева и охлаждения тигель остается неповрежденным.
Его можно использовать для плавки сплавов, спекания редкоземельных металлов и керамики, а также для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения.
Он широко используется в процессах термического испарения, таких как высокочастотный индукционный нагрев, нанесение покрытий, нанесение покрытий электронно-лучевым испарением, нанесение алюминиевых и кремниевых покрытий.
Тигли из проводящего нитрида бора отличаются высокой чистотой, высокой степенью очистки и превосходными свойствами покрытий, наносимых электронно-лучевым испарением.
Они увеличивают скорость испарения, ускоряют смену материалов, улучшают термическую стабильность и снижают потребление электроэнергии, что в конечном итоге повышает производительность и экономическую эффективность.
---