Линейный координатный стол PLF3232-xy.60

XYпьезоэлектрический2 оси

Нанопозиционирующие сканерные каскады SMARFLEX используют преимущества механических изгибов с пьезоприводом для реализации высокоточных задач позиционирования до нескольких 100 мкм. PLF3232-xy.60 обеспечивает диапазон сканирования 60 мкм в направлениях X и Y. При весе 45 г он очень легкий и при этом довольно компактный - 32 x 32 x 20 мм. Он объединяет два сканера PLF3232-x.60 в одном, имеет меньшую высоту корпуса, но ту же производительность. Благодаря размеру и расположению отверстий он идеально подходит для других линейных этапов и позиционеров, таких как CLS-3232, где сочетаются большой диапазон перемещения и высокая точность. Технические характеристики Диапазон сканирования [мкм] - > 60 Макс. Нормальное усилие [Н] - 5 Размеры [мм] - 32 x 32 x 20 Вес [г] - 45 Материал Материал основания - титан (-TI) / алюминиевое основание (-Al) Открытый контур Разрешение в открытом контуре MCS2 [нм] - MCS2: <1 Закрытый контур Разрешение датчика MCS2 [нм] - MCS2: 1 (S) Опции Вакуумные опции - HV (10-⁶mbar) Немагнитная опция - Да (- NM)