Линейный координатный стол CLS-92152

пьезоэлектрическийалюминийнизковакуумный

Более крупная линейная ступень CLS-92 имеет площадь 152 x 92 мм и диапазон перемещения 103 мм. Кроме того, он способен выдерживать полезную нагрузку до 20 Н. Линейные этапы серии CLS были специально разработаны для применения в науке и промышленности с высокой степенью готовности. Они оснащены сменными блоками привода SmarActs, которые обеспечивают легкий доступ к основному компоненту каскада - пьезоприводу, что упрощает обслуживание. Замена приводного блока может быть произведена без необходимости демонтажа всего устройства с окружающей установки позиционирования. Это идеальный вариант, когда модульность и простота конфигурации являются главными требованиями. Механические Усилие блокировки [Н] ≥ 3,5 Макс. Нормальное усилие [Н] 20 Размеры [мм] 92 x 152 x 17 Вес [г] - 591 Открытый контур Разрешение в открытом контуре MCS2 [нм] - < 1 Разрешение в открытом состоянии (H)CU [нм] - < 50 Замкнутый контур Разрешение датчика MCS2 [нм] - 1 (S), 4 (L) Разрешение датчика (H)CU [нм] - 100 (L) Однонаправленная повторяемость MCS2 [нм] - ± 40 (S,L) Однонаправленная повторяемость (H)CU [нм] - ± 200 (L) Опции Варианты материала - Алюминиевое основание в стандартной комплектации; титановое основание (-TI) Варианты исполнения - Более высокая сила блокировки (-D): +1.5 N Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да