Пластина нанопозиционирования Z PLF3232-z.60

пьезоэлектрическаякомпактнаяалюминий

Нанопозиционирующие сканерные каскады SMARFLEX используют преимущества механических изгибов с пьезоприводом для реализации высокоточных задач позиционирования до нескольких 100 мкм. PLF3232-z.60 обеспечивает диапазон сканирования более 60 мкм в направлении Z. При весе 30 г он очень легкий и при этом довольно компактный - 32 x 32 x 15 мм. Технические характеристики Диапазон сканирования [мкм] - > 60 Макс. Нормальное усилие [Н] - 5,0 Размеры [мм] - 32 x 32 x 15 Вес [г] - 30 Материал Материал основания - титан (-TI) / алюминиевое основание (-Al) Открытый контур Разрешение в открытом контуре MCS2 [нм] - MCS2: <1 - Закрытый контур Разрешение датчика MCS2 [нм] - MCS2: 1 (S) - Опции Вакуумные опции - HV (10-⁶mbar) Немагнитная опция - Да (- NM)