Нанопозиционирующие сканерные каскады SMARFLEX используют преимущества механических изгибов с пьезоприводом для реализации высокоточных задач позиционирования до нескольких 100 мкм.
PLF3232-z.60 обеспечивает диапазон сканирования более 60 мкм в направлении Z. При весе 30 г он очень легкий и при этом довольно компактный - 32 x 32 x 15 мм.
Технические характеристики
Диапазон сканирования [мкм] - > 60
Макс. Нормальное усилие [Н] - 5,0
Размеры [мм] - 32 x 32 x 15
Вес [г] - 30
Материал
Материал основания - титан (-TI) / алюминиевое основание (-Al)
Открытый контур
Разрешение в открытом контуре MCS2 [нм] - MCS2: <1
- Закрытый контур
Разрешение датчика MCS2 [нм] - MCS2: 1 (S)
- Опции
Вакуумные опции - HV (10-⁶mbar)
Немагнитная опция - Да (- NM)
---